| Title | 一种有序图案化多孔金刚石薄膜及其制备方法和用途 |
| Author | |
| First Inventor | 王晓飞
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| Original applicant | 南方科技大学
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| First applicant | 南方科技大学
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| Address of First applicant | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
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| Current applicant | 南方科技大学
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| Address of Current applicant | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| First Current Applicant | 南方科技大学
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| Address of First Current Applicant | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| Application Number | CN202010611752.7
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| Application Date | 2020-06-29
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| Open (Notice) Number | CN112011784B
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| Date Available | 2022-09-20
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| Publication Years | 2022-09-20
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| Status of Patent | 授权
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| Legal Date | 2022-09-20
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| Subtype | 授权发明
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| SUSTech Authorship | First
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| Abstract | 本发明公开了一种有序图案化多孔金刚石薄膜及其制备方法和用途。所述多孔金刚石薄膜包括微米尺度的有序图案化孔洞以及微米金刚石薄膜；所述孔洞的底面中空，所述微米金刚石薄膜连续分布在孔洞的底面边缘、侧壁以及非孔洞的位置。所述方法包括：1)采用纳米压印方法在基底上获得有序图案化的孔洞，得到图案化的基底；2)采用微波等离子体化学气相沉积方法，在基底上沉积生长微米金刚石薄膜，得到有序图案化多孔金刚石薄膜。本发明的金刚石薄膜在厚度方向上均匀致密、表面多孔结构空间尺寸可控可调，有效实现了金刚石超硬涂层表面的大面积图案化薄膜的制备和生长。 |
| Other Abstract | 本发明公开了一种有序图案化多孔金刚石薄膜及其制备方法和用途。所述多孔金刚石薄膜包括微米尺度的有序图案化孔洞以及微米金刚石薄膜；所述孔洞的底面中空，所述微米金刚石薄膜连续分布在孔洞的底面边缘、侧壁以及非孔洞的位置。所述方法包括：1)采用纳米压印方法在基底上获得有序图案化的孔洞，得到图案化的基底；2)采用微波等离子体化学气相沉积方法，在基底上沉积生长微米金刚石薄膜，得到有序图案化多孔金刚石薄膜。本发明的金刚石薄膜在厚度方向上均匀致密、表面多孔结构空间尺寸可控可调，有效实现了金刚石超硬涂层表面的大面积图案化薄膜的制备和生长。 |
| CPC Classification Number | C23C16/274
; C23C16/276
; C23C16/0254
; C23C16/517
; B01D69/00
; B01D71/021
; B01J20/20
; B01J20/28033
; B01J2220/4806
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| IPC Classification Number | C23C16/27
; C23C16/02
; C23C16/517
; B01J20/28
; B01J20/20
; B01D71/02
; B01D69/00
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| INPADOC Legal Status | （+PATENT GRANT）[2022-09-20][CN]
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| INPADOC Patent Family Count | 1
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| Extended Patent Family Count | 1
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| Priority date | 2020-06-29
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| Patent Agent | 潘登
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| Agency | 北京品源专利代理有限公司
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| URL | [Source Record] |
| Data Source | PatSnap
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| Document Type | Patent |
| Identifier | http://kc.sustech.edu.cn/handle/2SGJ60CL/427685 |
| Department | Academy for Advanced Interdisciplinary Studies 工学院_材料科学与工程系 |
| Recommended Citation GB/T 7714 |
王晓飞,许佼,李玉磊,等. 一种有序图案化多孔金刚石薄膜及其制备方法和用途[P]. 2022-09-20.
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