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Title

一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法及系统

Author
First Inventor
黄博远
Original applicant
南方科技大学
First applicant
南方科技大学
Address of First applicant
518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
Current applicant
南方科技大学
Address of Current applicant
518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
First Current Applicant
南方科技大学
Address of First Current Applicant
518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
Application Number
CN202110384915.7
Application Date
2021-04-09
Open (Notice) Number
CN113109595B
Date Available
2022-12-02
Publication Years
2022-12-02
Status of Patent
授权 ; 许可
Legal Date
2022-12-02
Subtype
授权发明
SUSTech Authorship
First
Abstract
本发明实施例公开了一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法及系统。一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法,包括:将两个频段内具有不同特性参数的子波形按预设拼接顺序合成激励信号;将所述激励信号施加至待测目标,获取待测目标不同特性参数对应的振幅图像;根据目标解耦模型和所述待测目标的双模态振幅图像进行解耦与重构,生成所述待测目标的应变图像和静电图像。解决力电耦合应变测量易受静电影响、结果不准确的问题,实现由目标解耦模型定量解析双模态数据准确获得待测目标的力电耦合应变图像和静电响应图像的效果。
Other Abstract
本发明实施例公开了一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法及系统。一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法,包括:将两个频段内具有不同特性参数的子波形按预设拼接顺序合成激励信号;将所述激励信号施加至待测目标,获取待测目标不同特性参数对应的振幅图像;根据目标解耦模型和所述待测目标的双模态振幅图像进行解耦与重构,生成所述待测目标的应变图像和静电图像。解决力电耦合应变测量易受静电影响、结果不准确的问题,实现由目标解耦模型定量解析双模态数据准确获得待测目标的力电耦合应变图像和静电响应图像的效果。
CPC Classification Number
G01Q60/24
IPC Classification Number
G01Q60/24
INPADOC Legal Status
(+PATENT GRANT)[2022-12-02][CN]
INPADOC Patent Family Count
1
Extended Patent Family Count
1
Priority date
2021-04-09
Patent Agent
潘登
Agency
北京品源专利代理有限公司
URL[Source Record]
Data Source
PatSnap
Document TypePatent
Identifierhttp://kc.sustech.edu.cn/handle/2SGJ60CL/428751
DepartmentDepartment of Materials Science and Engineering
Recommended Citation
GB/T 7714
黄博远,李江宇. 一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法及系统[P]. 2022-12-02.
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