| Title | 一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法及系统 |
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| First Inventor | 黄博远
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| Original applicant | 南方科技大学
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| First applicant | 南方科技大学
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| Address of First applicant | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
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| Current applicant | 南方科技大学
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| Address of Current applicant | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| First Current Applicant | 南方科技大学
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| Address of First Current Applicant | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| Application Number | CN202110384915.7
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| Application Date | 2021-04-09
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| Open (Notice) Number | CN113109595B
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| Date Available | 2022-12-02
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| Publication Years | 2022-12-02
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| Status of Patent | 授权
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| Legal Date | 2022-12-02
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| Subtype | 授权发明
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| SUSTech Authorship | First
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| Abstract | 本发明实施例公开了一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法及系统。一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法，包括：将两个频段内具有不同特性参数的子波形按预设拼接顺序合成激励信号；将所述激励信号施加至待测目标，获取待测目标不同特性参数对应的振幅图像；根据目标解耦模型和所述待测目标的双模态振幅图像进行解耦与重构，生成所述待测目标的应变图像和静电图像。解决力电耦合应变测量易受静电影响、结果不准确的问题，实现由目标解耦模型定量解析双模态数据准确获得待测目标的力电耦合应变图像和静电响应图像的效果。 |
| Other Abstract | 本发明实施例公开了一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法及系统。一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法，包括：将两个频段内具有不同特性参数的子波形按预设拼接顺序合成激励信号；将所述激励信号施加至待测目标，获取待测目标不同特性参数对应的振幅图像；根据目标解耦模型和所述待测目标的双模态振幅图像进行解耦与重构，生成所述待测目标的应变图像和静电图像。解决力电耦合应变测量易受静电影响、结果不准确的问题，实现由目标解耦模型定量解析双模态数据准确获得待测目标的力电耦合应变图像和静电响应图像的效果。 |
| CPC Classification Number | G01Q60/24
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| IPC Classification Number | G01Q60/24
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| INPADOC Legal Status | （+PATENT GRANT）[2022-12-02][CN]
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| INPADOC Patent Family Count | 1
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| Extended Patent Family Count | 1
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| Priority date | 2021-04-09
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| Patent Agent | 潘登
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| Agency | 北京品源专利代理有限公司
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| URL | [Source Record] |
| Data Source | PatSnap
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| Document Type | Patent |
| Identifier | http://kc.sustech.edu.cn/handle/2SGJ60CL/428751 |
| Department | Department of Materials Science and Engineering |
| Recommended Citation GB/T 7714 |
黄博远,李江宇. 一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法及系统[P]. 2022-12-02.
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