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Title

一种电化学抛光方法与电化学抛光装置

Author
First Inventor
邓辉
Original applicant
南方科技大学
First applicant
南方科技大学
Address of First applicant
518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
Current applicant
南方科技大学
Address of Current applicant
518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
First Current Applicant
南方科技大学
Address of First Current Applicant
518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
Application Number
CN201710748223.X
Application Date
2017-08-28
Open (Notice) Number
CN107488872B
Date Available
2023-02-03
Publication Years
2023-02-03
Status of Patent
授权
Legal Date
2023-02-03
Subtype
授权发明
SUSTech Authorship
First
Abstract
本发明涉及金属表面处理领域,公开了一种电化学抛光方法与装置,电化学抛光方法包括:对金属工件进行初步的电化学抛光;设置一吻合金属工件表面形状的参考面,并使得参考面贴近金属工件的表面;使参考面沿靠近‑远离金属工件的方向振动,同时进行电化学抛光;判定金属工件的表面质量是否达到要求,如果达到要求,终止电化学抛光;如果未达到要求,调整参考面振动时距离金属工件表面的最小距离,并重复步骤S30与步骤S40,以此循环。本发明可以将粘性膜的厚度人为控制在合适的区间,加快金属选择性溶解速度或者延长金属选择性溶解时间,从而可以大大提高工件的表面质量,将工件表面的无论高频还是低频,宏观还是微观的所有波形全部进行整平。
Other Abstract
本发明涉及金属表面处理领域,公开了一种电化学抛光方法与装置,电化学抛光方法包括:对金属工件进行初步的电化学抛光;设置一吻合金属工件表面形状的参考面,并使得参考面贴近金属工件的表面;使参考面沿靠近‑远离金属工件的方向振动,同时进行电化学抛光;判定金属工件的表面质量是否达到要求,如果达到要求,终止电化学抛光;如果未达到要求,调整参考面振动时距离金属工件表面的最小距离,并重复步骤S30与步骤S40,以此循环。本发明可以将粘性膜的厚度人为控制在合适的区间,加快金属选择性溶解速度或者延长金属选择性溶解时间,从而可以大大提高工件的表面质量,将工件表面的无论高频还是低频,宏观还是微观的所有波形全部进行整平。
IPC Classification Number
C25F3/16 ; C25F7/00
INPADOC Legal Status
(ENTRY INTO FORCE OF REQUEST FOR SUBSTANTIVE EXAMINATION)[2018-01-12][CN]
INPADOC Patent Family Count
1
Extended Patent Family Count
1
Priority date
2017-08-28
Patent Agent
谢岳鹏
Agency
广州嘉权专利商标事务所有限公司
URL[Source Record]
Data Source
PatSnap
Document TypePatent
Identifierhttp://kc.sustech.edu.cn/handle/2SGJ60CL/428784
DepartmentDepartment of Mechanical and Energy Engineering
Recommended Citation
GB/T 7714
邓辉. 一种电化学抛光方法与电化学抛光装置[P]. 2023-02-03.
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