| Title | 一种静电吸附电极和静电吸附装置 |
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| First Inventor | 王宏强
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| Original applicant | 南方科技大学
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| First applicant | 南方科技大学
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| Address of First applicant | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
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| Current applicant | 南方科技大学
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| Address of Current applicant | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| First Current Applicant | 南方科技大学
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| Address of First Current Applicant | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| Application Number | CN202110118646.X
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| Application Date | 2021-01-28
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| Open (Notice) Number | CN112936316B
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| Date Available | 2022-12-02
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| Publication Years | 2022-12-02
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| Status of Patent | 授权
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| Legal Date | 2022-12-02
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| Subtype | 授权发明
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| SUSTech Authorship | First
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| Abstract | 本发明公开了一种静电吸附电极和静电吸附装置，该静电吸附电极包括第一基底层、第一导电层和绝缘层，第一导电层设于第一基底层上，第一导电层的厚度≤7μm；绝缘层设于第一导电层上背离第一基底层的一侧表面，绝缘层的厚度≤7μm。本发明静电吸附电极通过控制第一导电层和绝缘层的厚度，使得电极发生电击穿后具备自清理能力，使其被击穿后仍能正常工作，延长使用寿命。 |
| Other Abstract | 本发明公开了一种静电吸附电极和静电吸附装置，该静电吸附电极包括第一基底层、第一导电层和绝缘层，第一导电层设于第一基底层上，第一导电层的厚度≤7μm；绝缘层设于第一导电层上背离第一基底层的一侧表面，绝缘层的厚度≤7μm。本发明静电吸附电极通过控制第一导电层和绝缘层的厚度，使得电极发生电击穿后具备自清理能力，使其被击穿后仍能正常工作，延长使用寿命。 |
| CPC Classification Number | B25J15/0085
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| IPC Classification Number | B25J15/00
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| INPADOC Legal Status | （+PATENT GRANT）[2022-12-02][CN]
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| INPADOC Patent Family Count | 1
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| Extended Patent Family Count | 1
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| Priority date | 2021-01-28
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| Patent Agent | 张建珍
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| Agency | 广州嘉权专利商标事务所有限公司
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| URL | [Source Record] |
| Data Source | PatSnap
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| Document Type | Patent |
| Identifier | http://kc.sustech.edu.cn/handle/2SGJ60CL/429320 |
| Department | Department of Mechanical and Energy Engineering 创新创业学院 |
| Recommended Citation GB/T 7714 |
王宏强,朱人杰,毛建军,等. 一种静电吸附电极和静电吸附装置[P]. 2022-12-02.
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