南方科技大学知识苑(SUSTech KC): 一种光学微腔结构、制造方法及测量方法

Title	一种光学微腔结构、制造方法及测量方法
Alternative Title	Optical microcavity structure, manufacturing method and measuring method
Author	陈树明; 冯渊翔; 王为高
First Inventor	陈树明
Original applicant	南方科技大学
First applicant	南方科技大学
Address of First applicant	518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
Current applicant	南方科技大学
Address of Current applicant	518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
First Current Applicant	南方科技大学
Address of First Current Applicant	518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
Application Number	CN201610632873.3
Application Date	2016-08-04
Open (Notice) Number	CN106352805A
Date Available	2017-01-25
Status of Patent	驳回
Legal Date	2020-04-10
Subtype	发明申请
SUSTech Authorship	First
Abstract	本发明公开了一种用于测量光学薄膜厚度的光学微腔结构、制造方法及测量方法，其中一种光学微腔结构，包括全反射层，所述全反射层承载于一衬底之上；待测薄膜层，设置于所述反射层表面；半反射膜层，设置于所述待测薄膜层表面。本申请中，通过半反射层与待测薄膜层的接触表面形成第一介质分界面，待测薄膜层与全发射膜层的接触表面形成第二介质分界面。入射光在第一介质分界面与第二介质分界面之间来回反复反射，一束光线通过第一介质分界面、第二介质分界面形成多束用以产生干涉效应的光线，使得反射谱上呈现出较明显的尖锐干涉峰，有利于在后续测量过程中，能够较准确地实现光谱拟合，提高待测薄膜厚度测量准确度。
Other Abstract	本发明公开了一种用于测量光学薄膜厚度的光学微腔结构、制造方法及测量方法，其中一种光学微腔结构，包括全反射层，所述全反射层承载于一衬底之上；待测薄膜层，设置于所述反射层表面；半反射膜层，设置于所述待测薄膜层表面。本申请中，通过半反射层与待测薄膜层的接触表面形成第一介质分界面，待测薄膜层与全发射膜层的接触表面形成第二介质分界面。入射光在第一介质分界面与第二介质分界面之间来回反复反射，一束光线通过第一介质分界面、第二介质分界面形成多束用以产生干涉效应的光线，使得反射谱上呈现出较明显的尖锐干涉峰，有利于在后续测量过程中，能够较准确地实现光谱拟合，提高待测薄膜厚度测量准确度。
CPC Classification Number	G01B11/0675
IPC Classification Number	G01B11/06
INPADOC Legal Status	（-REJECTION OF INVENTION PATENT APPLICATION AFTER PUBLICATION）[2020-04-10][CN]
INPADOC Patent Family Count	1
Extended Patent Family Count	1
Priority date	2016-08-04
Patent Agent	孟金喆 ; 胡彬
Agency	北京品源专利代理有限公司
URL	[Source Record]
Data Source	PatSnap
Document Type	Patent
Identifier	http://kc.sustech.edu.cn/handle/2SGJ60CL/531984
Department	Department of Electrical and Electronic Engineering
Recommended Citation GB/T 7714	陈树明,冯渊翔,王为高. 一种光学微腔结构、制造方法及测量方法.

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