| Title | 一种二维材料纳米结构阵列加工的装置 |
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| First Inventor | 何洋
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| Original applicant | 南方科技大学
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| First applicant | 南方科技大学
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| Address of First applicant | 518055 广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号
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| Current applicant | 南方科技大学
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| Address of Current applicant | 518055 广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| First Current Applicant | 南方科技大学
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| Address of First Current Applicant | 518055 广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| Application Number | CN202222358593.1
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| Application Date | 2022-09-05
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| Open (Notice) Number | CN218620343U
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| Date Available | 2023-03-14
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| Publication Years | 2023-03-14
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| Status of Patent | 授权
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| Legal Date | 2023-03-14
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| Subtype | 实用新型
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| SUSTech Authorship | First
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| Abstract | 本实用新型公开了一种二维材料纳米结构阵列加工的装置，其中，包括加工室、充气结构、支架、第一位移工作台、第二位移工作台、模板和电场组件，充气结构与加工室连通，用于输入气体反应介质；支架设于加工室内，支架上形成有相互垂直的水平支撑台面和竖直支撑台面；第一位移工作台设置在水平支撑台面上，用于承载二维材料样品；第二位移工作台设置在竖直支撑台面上；模板设于第二位移工作台上朝向二维材料样品的一侧，用于转印纳米结构阵列至二维材料样品上；模板上设有凸起结构，凸起结构用于诱导二维材料样品的表面氧化；电场组件一端与第一位移工作台连接，另一端与模板连接，用于施加电场。本申请提高了跨尺度加工的可操作性。 |
| Other Abstract | 本实用新型公开了一种二维材料纳米结构阵列加工的装置，其中，包括加工室、充气结构、支架、第一位移工作台、第二位移工作台、模板和电场组件，充气结构与加工室连通，用于输入气体反应介质；支架设于加工室内，支架上形成有相互垂直的水平支撑台面和竖直支撑台面；第一位移工作台设置在水平支撑台面上，用于承载二维材料样品；第二位移工作台设置在竖直支撑台面上；模板设于第二位移工作台上朝向二维材料样品的一侧，用于转印纳米结构阵列至二维材料样品上；模板上设有凸起结构，凸起结构用于诱导二维材料样品的表面氧化；电场组件一端与第一位移工作台连接，另一端与模板连接，用于施加电场。本申请提高了跨尺度加工的可操作性。 |
| IPC Classification Number | B82B3/00
; B82Y30/00
; B82Y40/00
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| INPADOC Legal Status | （+PATENT GRANT）[2023-03-14][CN]
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| INPADOC Patent Family Count | 1
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| Extended Patent Family Count | 1
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| Priority date | 2022-09-05
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| Patent Agent | 秦胜军
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| Agency | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙)
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| URL | [Source Record] |
| Data Source | PatSnap
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| Document Type | Patent |
| Identifier | http://kc.sustech.edu.cn/handle/2SGJ60CL/534158 |
| Department | Department of Mechanics and Aerospace Engineering |
| Recommended Citation GB/T 7714 |
何洋,章亮炽,胡佳浩. 一种二维材料纳米结构阵列加工的装置[P]. 2023-03-14.
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