| Title | 纳米阵列制备系统及纳米阵列制备方法 |
| Author | |
| First Inventor | 徐少林
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| Original applicant | 南方科技大学
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| First applicant | 南方科技大学
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| Address of First applicant | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
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| Current applicant | 南方科技大学
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| Address of Current applicant | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| First Current Applicant | 南方科技大学
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| Address of First Current Applicant | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| Application Number | CN202111367350.8
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| Application Date | 2021-11-18
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| Open (Notice) Number | CN114221208B
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| Date Available | 2023-07-21
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| Publication Years | 2023-07-21
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| Status of Patent | 授权
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| Legal Date | 2023-07-21
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| Subtype | 授权发明
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| SUSTech Authorship | First
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| Abstract | 本发明公开了一种纳米阵列制备系统及纳米阵列制备方法。其中，纳米阵列制备系统包括：激光器，用于生成激光，并用于在基板的第一路径辐照生成第一纳米阵列；控制器，与激光器连接；位移台，用于承载基板；其中，激光器包括光束整形模块，光束整形模块用于生成平顶线聚焦光束；控制器还用于控制位移台移动预设距离，以使激光在基板的第二路径辐照生成第二纳米阵列；其中第一纳米阵列与第二纳米阵列间呈现交错排布，并在连续扫描中生成类蜂窝状的二维纳米结构。本发明的纳米阵列制备方法能够实现纳米阵列的高效大面积制备。 |
| Other Abstract | 本发明公开了一种纳米阵列制备系统及纳米阵列制备方法。其中，纳米阵列制备系统包括：激光器，用于生成激光，并用于在基板的第一路径辐照生成第一纳米阵列；控制器，与激光器连接；位移台，用于承载基板；其中，激光器包括光束整形模块，光束整形模块用于生成平顶线聚焦光束；控制器还用于控制位移台移动预设距离，以使激光在基板的第二路径辐照生成第二纳米阵列；其中第一纳米阵列与第二纳米阵列间呈现交错排布，并在连续扫描中生成类蜂窝状的二维纳米结构。本发明的纳米阵列制备方法能够实现纳米阵列的高效大面积制备。 |
| CPC Classification Number | H01S5/0239
; H01S5/02253
; H01S5/02255
; Y02P70/50
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| IPC Classification Number | H01S5/02253
; H01S5/02255
; H01S5/0239
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| INPADOC Legal Status | （+PATENT GRANT）[2023-07-21][CN]
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| INPADOC Patent Family Count | 1
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| Extended Patent Family Count | 1
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| Priority date | 2021-11-18
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| Patent Agent | 洪铭福
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| Agency | 广州嘉权专利商标事务所有限公司
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| URL | [Source Record] |
| Data Source | PatSnap
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| Document Type | Patent |
| Identifier | http://kc.sustech.edu.cn/handle/2SGJ60CL/562995 |
| Department | Department of Mechanical and Energy Engineering |
| Recommended Citation GB/T 7714 |
徐少林,黄佳旭,徐康. 纳米阵列制备系统及纳米阵列制备方法[P]. 2023-07-21.
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