| Title | 薄膜材料虚拟仿真实验的建设与教学实践——磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅薄膜制作过程中的应用 |
| Author | |
| Publication Years | 2023
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| DOI | |
| Source Title | |
| ISSN | 0509-4038
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| Issue | 8Pages:111-116 |
| Abstract | 为解决薄膜材料物理实验在大学物理实验教学中实验仪器昂贵,实验过程高危等困难,设计与建设了"磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅制作过程中的应用"虚拟仿真实验.此虚拟仿真实验项目借助3D技术,真实还原并模拟了实验场景与过程,人机交互程度高,可操作性强.通过三年的教学实践与网络平台推广,取得了良好的教学效果以及学生的一致好评. |
| Keywords | |
| URL | [Source Record] |
| Language | Chinese
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| SUSTech Authorship | Others
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| Funding Project | Y01201823:南方科技大学本科教学质量及教学改革工程项目
; :广东省示范性虚拟仿真实验教学项目
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| Data Source | WanFang
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| WanFangID | wltb202308026
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| Citation statistics |
Cited Times [WOS]:0
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| Document Type | Journal Article |
| Identifier | http://kc.sustech.edu.cn/handle/2SGJ60CL/571428 |
| Department | Department of Physics |
| Affiliation | 南方科技大学物理系 广东深圳 518055 |
| Recommended Citation GB/T 7714 |
王晓峰,杨珺,陈佶. 薄膜材料虚拟仿真实验的建设与教学实践——磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅薄膜制作过程中的应用[J]. 物理通报,2023(8):111-116.
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| APA |
王晓峰,杨珺,&陈佶.(2023).薄膜材料虚拟仿真实验的建设与教学实践——磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅薄膜制作过程中的应用.物理通报(8),111-116.
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| MLA |
王晓峰,et al."薄膜材料虚拟仿真实验的建设与教学实践——磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅薄膜制作过程中的应用".物理通报 .8(2023):111-116.
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